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在光学显微镜中，利用电子来代替可见光，在图像质量和信息价值，可靠性和利用率方面有很大的优势。，利用电子束放大的倍率可以达到20,000x，而利用可见光的放大倍率只有1000x。散射电子的特征是：利用被检查物体表面的电子核相互作用的弹性，散射电子角度范围可以达到180度，但是平均散射角度为5度。通过这种方式，一小部分散射的原子的原子序数Z发生了强烈的改变，通过这种方式可以对原材料做鉴定比较。这就是所谓的原子序数特征对比。这就是为什么电子束焊接机中需要安装检测板来收集散射电子的原因。软件和CNC系统可以利用这些准确的信息来控制焊接参数。
收集的信息以数字形式显示了电子束流与高能电子的弹性散射的采样样本，次电子非弹性散射的采样样本以及电磁辐射的采样样本之间的能量转换的关系。每种能量来源都可以用的传感器检测到并对其进行测量。吸收的束射电流也可以被检测和测量。各种电子放大器采用数字化的CRT显示器信号，可以创建重要的的信号强度分布图。操作人员利用高分辨率的CRT作为其监测设备，与此同时，数字信号传输给CNC系统用于回路控制的监测和反馈。现今，无线传感器放置于真空工作室中来实现自动光束对准。该专利在焊缝准确度方面实现了800%好的手动操作。因此，该技术具有可靠性更高，在热能输入控制方面优势明显，在热能输入与热能影响区域低变形的特点。
真空支持活性金属（如钛、硅或镍）的加工，甚至比使用保护性气体更便宜。一般来说，在真空下工作可使工件保持清洁和更好的焊缝质量。智能型空气锁的理念可防止以牺牲生产时间为代价而产生的真空。
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